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微电子器件工艺实验室

2016/10/19 11:45:21人浏览

   本实验室主要承担《电子薄膜材料》、《真空技术基础》、《薄膜制备技术》、《半导体材料》、《磁性材料》、《电子信息材料科学基础》、《半导体器件工艺实验》等课程的实验及毕业论文等实践环节的教学任务。根据不同要求可开出基本实验和综合性实验7项。授课专业主要为电子科学与技术等专业的本科生。