电子材料实验室

　　电子材料实验室由功能材料制备实验室、电子材料和电子元器件性能测试实验室、微电子器件工艺实验室组成。功能材料制备分室采用高真空三靶磁控溅射镀膜机来制备各种薄膜材料，利用等离子增强化学气相沉积系统来制备各种薄膜材料和碳纳米管，用真空烧结炉来制备各种块体材料，厚膜电子材料、各种陶瓷材料及磁性材料等。氧化炉可以制备各种纳米线；电子材料和电子元器件性能测试实验分室采用振动样品磁强计、网络矢量分析仪、磁阻测量仪、软磁交流性能测试仪、高斯计、霍尔效应测试仪、光电导和暗电导测试系统等来测试分析磁性材料的磁滞回线、磁导率和介电常数、巨磁电阻效应、磁性材料的磁化率、半导体中的载流子浓度、光电导和暗电导。微电子器件工艺实验室主要用于制备器件（二极管，三极管，MOS管），PCB电路板，制作电路和封状电子元件。拥有氧化炉、扩散炉、光刻机、显影机，匀胶机，真空干燥炉、去离子水设备、激光光绘仪、PCB双面爆光机、铝线焊机、体视显微镜、PCB制备系统、丝网印刷机、回流焊机及封装热层压设备及模具。开设的课程有：《材料科学基础》、《固体物理》、《半导体物理》、《微电子器件物理》、《半导体材料及元器件》、《磁性材料及元器件》、《薄膜电子材料与器件》、《电子显微与微分析技术》、《真空技术》、《基础电子元器件工艺导论》、《显示材料与显示技术》等。